惯性传感器

惯性传感器

2016/6/12 阅读 (1539) 文件下载

惯性传感器
First Sensor拥有高度创新的高精度惯性传感器制造用技术平台,广泛适用于地球工程、状态监测或导航应用等领域。MEMS系列传感器可根据客户的个性化应用需求灵活定制。

倾角计与加速度计
电容式倾角计与加速度计采用单晶硅传感器元件,融合最先进的微机械加工技术,实现高性噪比和优异的温度稳定性,因此能够检测极其微小的倾角或加速度变化。

得益于高宽比微结构(HARMS),该系列传感器具有极低的交叉轴灵敏度。此外,已获专利的高度灵活型AIM(气隙绝缘微结构)技术可最大限度地减少寄生电容。

评估板
我们还提供各类不同评估板,可用于便捷快速地读取传感器数据。

性能特点

技术规格
    Inclinometer parameter SI-11.S1.C-30 SI-11.P3.C-30 Unit
    Measurement range ±30 ±30 °
    Resolution @ 10 Hz  < 0,0015 < 0,0040 °
    Scale factor (repeatability)  ±35 ±50 ppm
    Scale-Faktor (Temperaturkoeffizient)  ±50 ±50 ppm/K
    Bias (repeatability) ±0,0030 ±0,0045 °
    Bias (temperature coefficient) ±0,0025 ±0,0030 °/K
    Noise density < 0,0004 < 0,0015 °/√Hz
    Measuring frequency 400 800 Hz
    Digital interface SPI SPI/I²C
    Operating temperature -40 … 85 -40 … 120 °C

技术规格
    Parameter Accelerometer SA-13.S1.C-8 SA-14.S1.C-15 Unit
    Measurement range ±8 ±15 g
    Resolution @ 10 Hz  < 65 < 95 µg
    Scale factor (repeatability)  ±35 ±35 ppm
    Scale factor (temperature coefficient)  ±50 ±50 ppm/K
    Bias (repeatability) ±260 ±470 µg
    Bias (temperature coefficient) ±105 ±175 µg/K
    Noise density < 20 < 30 µg/√Hz
    Measuring frequency 400 400 Hz
    Digital interface SPI SPI
    Operating temperature -40 … 85 -40 … 85 °C

 

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